1 用途

50kg 真空感應(yīng)電爐是在真空條件下利用中頻感應(yīng)加熱原理進(jìn)行熔化金屬的現(xiàn)代化設(shè)備。由于它能嚴(yán)格控制熔煉溫度和合金成份，并具有電磁攪拌和強(qiáng)大的高真空脫氣能力，因此廣泛用于冶金廠和有關(guān)科學(xué)研究部門作為鎳基、鐵基及其它高級精密合金或高純度金屬在真空條件下或充保護(hù)氣氛情況下進(jìn)行的熔煉和澆鑄。

如果選用石墨坩堝或者用石墨摻耐火粘土的坩鍋，便可以通過間接的加熱方法熔化低電阻的金屬及其合金，例如：金、銀、銅、鋁、青銅等。

例如：ZG－0.05L 表示：50kg 真空感應(yīng)熔煉爐，立式結(jié)構(gòu)。

型號說明：

2 主要參數(shù)

名 稱 單 位 ZG－0.05L

設(shè)備總功率 kW 130

電源電壓 V 380（三相）

電源頻率 Hz 50

額定容量 t 0.05

額定功率（中頻輸出） kW 100

額定電壓（中頻輸出） V 375

額定頻率 kHz 2500

額定溫度 ℃ 1700

真空度 Pa 6.66×10-3

工作真空度（工業(yè)純鐵） Pa 6.6x10-2

壓升率 Pa/min 0.06

電 耗 kWh/t 1250

耗 水 量 m3/h 7.5

總 重 4.6

3 工作原理

50kg 真空感應(yīng)電爐是利用中頻感應(yīng)加熱的新型真空熔煉設(shè)備，爐體內(nèi)部設(shè)有一只螺旋型管式線圈，當(dāng)線圈通以中頻電流時(shí)，則產(chǎn)生交變磁場，金屬爐料在磁場作用下感應(yīng)出電勢，產(chǎn)生環(huán)形電流，這種電流在本身的磁場作用下，集中在金屬爐料的外層（即所謂的趨膚效應(yīng)），使外層金屬爐料具有很高的電流密度，從而產(chǎn)生集中而強(qiáng)大的熱效應(yīng)把金屬爐料加熱或熔化。

4 結(jié)構(gòu)性能和優(yōu)點(diǎn)

4.1 優(yōu)點(diǎn)

50kg 真空感應(yīng)電爐具有下列優(yōu)點(diǎn)：

4.1.1 采用立式爐體、裝料方便，爐蓋是三圓弧形的，容易清掃，由于設(shè)有止口密封圈，不易遭受破損和受熱的影響。

4.1.2 不論坩堝如何傾斜，電極和感應(yīng)線圈之間的連接都不會(huì)中斷，因此能借傾轉(zhuǎn)坩堝來熔化架橋料而不用搗棒，并能帶電進(jìn)行澆鑄，以保持澆鑄時(shí)所需的溫度。

4.1.3 設(shè)有放檢閥（進(jìn)氣閥），可以通入惰性氣體或化學(xué)氣體，對熔化的金屬進(jìn)行保護(hù)，以免氧化。

4.1.4 由于感應(yīng)加熱具有自攪拌性能，使熔化合金均勻而不產(chǎn)生偏析，而且還能加快脫氣速度，使熔煉的合金均勻，氣體含量少。

4.1.5 效率高、升溫快，在用氧化鎂、氧化鋁坩堝條件下，全部熔化鋼的時(shí)間約20－30分鐘（熔化時(shí)間一般與冶煉工藝條件有關(guān)）。

4.1.6 準(zhǔn)確性高：

控制熔化的時(shí)間、溫度、成分很準(zhǔn)確，使其工作具有高度的準(zhǔn)確性。

4.1.7 適用范圍廣：

對鐵基、鎳基及有色金屬都能達(dá)到冶煉的要求。

4.1.8 使用方便，勞動(dòng)條件好，備有成套的電源、爐體及附件等，可以隨時(shí)進(jìn)行熔煉。熔化有毒性的金屬時(shí)，可以通過真空機(jī)組，把毒氣排除到室外，進(jìn)行無公害處理。

4.1.9 真空機(jī)組抽氣時(shí)間短：從大氣到 6.6×10-1 帕范圍內(nèi)，具有較大的抽氣能力并能保持一個(gè)穩(wěn)定的極限真空。

4.1.10 安全可靠：

如中頻電源過載、感應(yīng)線圈、中頻電纜、擴(kuò)散泵、電容器、可控硅電源等斷水，都有保護(hù)裝置（通過水壓或水溫來保護(hù)報(bào)警）。

綜合上述情況，50 公斤真空感應(yīng)電爐，無論在使用上，生產(chǎn)效率上以及技術(shù)上都滿足一般常規(guī)的真空熔煉要求。

4.2 結(jié)構(gòu)特征：

4.2.1 爐體（即熔室）：

50kg 真空感應(yīng)電爐的熔室是一只雙層壁的立式容器，內(nèi)徑為 100(120)厘米，圓柱體的高度為 90 厘米，真空熔室的實(shí)際有效高度為 98 厘米。爐蓋也是雙層壁的，雙層壁之間通入冷卻水，爐蓋由液壓油缸提升，開啟爐蓋很輕便，并能保持在一個(gè)適當(dāng)?shù)拈_啟位置上，并有鎖緊裝置，可以保證爐蓋緊密的貼封在真空橡膠墊上，保證初始密封所需的壓力。

真空熔室的內(nèi)壁，都經(jīng)過仔細(xì)的拋光，表面光滑，因此只要用簡單的機(jī)械清潔方法，即可以除去在熔室內(nèi)因熔煉過程中氣化而產(chǎn)生的金屬揮發(fā)物和臟物。這樣既有利于縮短抽氣時(shí)間，又可獲得一個(gè)良好的真空極限。在真空熔室的后部是排氣孔，在左側(cè)是轉(zhuǎn)軸電極。

電極在傾轉(zhuǎn)坩堝澆鑄時(shí)，仍能進(jìn)行通電。排氣口有百葉窗?？梢苑乐菇饘贊B入高真空泵內(nèi)，一般說來這個(gè)措施是足夠的，因?yàn)榻饘僬魵馐窃谡婵罩兄苯訑U(kuò)散，然后附著在真空的冷壁上。

在真空室的側(cè)面有進(jìn)出導(dǎo)管接頭，可以接水路、電路作為鑄錠模加熱和冷卻之用（鑄模加熱和冷卻裝置由用戶自備）。鑄模的加熱和冷卻用戶可委托我方設(shè)計(jì)加工。

4.2.2 爐蓋：

爐蓋上裝有二個(gè)視察孔，雙層石英隔熱玻璃，能觀察到爐內(nèi)的各個(gè)有效位置，同時(shí)可供二個(gè)人觀察冶煉情況。爐蓋的開啟是由一個(gè)油缸來提升的，可以輕便的開啟、關(guān)閉。爐蓋上有充氣和放氣閥門及壓力表。

4.2.3 加料、測溫、取樣機(jī)構(gòu)：

50kg 電爐有手動(dòng)合金加料、測溫機(jī)構(gòu)。合金加料內(nèi)分五個(gè)小格,轉(zhuǎn)動(dòng)手輪將料加入撮子內(nèi),搖動(dòng)撮子升降機(jī)構(gòu)將料加入到坩堝內(nèi),然后搖動(dòng)手柄將撮子復(fù)位。

4.2.4 感應(yīng)線圈：

感應(yīng)線圈是一種扁圓形紫銅管制成的，匝與匝間有 5－10 毫米的間隙，通過他們外圍的絕緣板來固定位置，感應(yīng)線圈和進(jìn)出電極間的連接是用兩個(gè)法蘭來連接的，拆卸方便，既能保證良好的導(dǎo)電，又能保證可靠的真空密封。線圈內(nèi)放有一個(gè)坩堝（坩堝用戶自備），線圈與坩堝之間要有 40－60mm 厚的保溫層，以免線圈碰著導(dǎo)電性坩堝造成短路，另外也防止線圈直接受坩堝的熱幅射，在線圈的底部焊有四塊支撐板，是用來支托坩堝的。

就線圈的匝數(shù)而言，不是一成不變的。根據(jù)不同的工作條件，可以有幾種設(shè)計(jì)，我們現(xiàn)在配套的一種線圈，適用性是廣泛的。從試驗(yàn)結(jié)果來看，大的線圈電壓是 250 伏左右，在特殊情況下，還要低些。以免引起真空放電，尤其在熔融金屬有快速的氣化傾向時(shí)，更容易發(fā)生放電現(xiàn)象。

4.2.5 轉(zhuǎn)動(dòng)電極與傾爐機(jī)構(gòu)：

轉(zhuǎn)軸為同軸供電方式，水冷裝配結(jié)構(gòu)，為用戶免去了以往環(huán)氧樹脂澆鑄電極不能自己維護(hù)之苦，可以自行拆卸。內(nèi)電極的尺寸增加到￠45mm，電效率大大的提高。澆鑄傾爐有液壓與機(jī)械傾爐二種結(jié)構(gòu)由用戶自己選擇。液壓傾爐是由我們研究所自己開發(fā)的液壓閥控制（雙向比例閥門）。

4.2.6 坩堝：

當(dāng)坩堝用在真空中熔化金屬時(shí)，如要避免熔化金屬和坩堝之間的反應(yīng)，適當(dāng)?shù)倪x擇制造坩堝的材料和坩堝的制造工藝是非常重要的。因?yàn)檫x擇制造坩堝材料，在很大程度上決定于熔化金屬的性質(zhì)，所以我們不能提供標(biāo)準(zhǔn)適用的坩堝，用戶可以根據(jù)金屬的性質(zhì)自己選擇制訂制造坩堝的工藝，但坩堝的尺寸應(yīng)符合設(shè)計(jì)圖紙的要求，請參閱圖 1。

4.2.7 錠模：

錠模的材質(zhì)和尺寸，一般都是根據(jù)不同的使用要求來確定的，因此成套設(shè)備出廠時(shí)，一律不帶錠模，但考慮到用戶在生產(chǎn)時(shí)使用，一般可按圖 2 錠模尺寸制造，做為洗爐錠或鍛造錠用。

錠模應(yīng)放在感應(yīng)線圈的前面，高底及前后左右位置一定要合適，使得澆鑄的鋼水正好流入錠模中心為宜。如果錠模需要通水進(jìn)行快速冷卻，請將爐體側(cè)面的兩個(gè)備用孔打開，接上水管接頭，將錠模冷卻水接好。在接真空室內(nèi)水管時(shí)一定要牢固可靠，不應(yīng)有滲漏，否則會(huì)影響爐內(nèi)真空，同時(shí)要做好防止金屬外漏燙壞水管的防護(hù)措施。

4.2.8 真空機(jī)組：

為了能在整個(gè)熔煉過程中，有良好的工作真空度，50kg 機(jī)組配置為 KT-400 擴(kuò)散泵RTO300.F 羅茨泵一臺(tái)、2X－70 機(jī)械泵一臺(tái)。

真空系統(tǒng)由氣動(dòng)蝶閥來控制真空系統(tǒng)的開關(guān),閥門壽命長。

4.2.9 真空測量：

本系統(tǒng)采用用熱偶電離兩用復(fù)合真空計(jì)，根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，真空機(jī)組上還裝有真空壓力表，表壓用以觀察爐內(nèi)粗真空度或保護(hù)氣體的壓強(qiáng)。

4.2.10 在爐蓋上有二個(gè)視察窗，可以視察熔室內(nèi)的熔煉情況。

4.2.11 測溫裝置：

在爐蓋上部有一個(gè)測溫裝置。當(dāng)需要測溫時(shí)，可以裝上熱電偶和熱電偶保護(hù)管（一般用金屬陶瓷）。進(jìn)行測溫時(shí)，只須轉(zhuǎn)動(dòng)手柄，讓熱電偶插進(jìn)坩堝金屬液內(nèi)。有一個(gè)齒條操作機(jī)構(gòu)，以便使熱電偶在液面停止，從數(shù)字表可讀出溫度數(shù)值（也可以使用光學(xué)測溫或遠(yuǎn)紅外輻射溫度計(jì)通過視察窗測量溫度）。

4.2.12 進(jìn)電系統(tǒng)：

進(jìn)電系統(tǒng)由￠0.08mm 單股線組成的 50 平方毫米截面導(dǎo)線共 23 根組成。做為連接母線與轉(zhuǎn)軸之間的連線，比原來單用水冷電纜的導(dǎo)線提高 5％以上的效率。線路壓降不大于2V。這樣既提高了效率，又使轉(zhuǎn)動(dòng)靈活、可靠。該進(jìn)電系統(tǒng)與轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)，是目前國內(nèi)好的節(jié)能型的構(gòu)造。

5 安裝

5.1 50kg真空感應(yīng)電爐成套設(shè)備分為如下幾部分：

5.1.1 電爐本體及備件；

5.1.2 真空系統(tǒng)；

5.1.3 水冷系統(tǒng)；

5.1.4 可控硅電源系統(tǒng)；

5.1.5 液壓系統(tǒng)；

5.1.6 氣路系統(tǒng)。

在設(shè)備出廠前爐子帶有真空，運(yùn)輸過程中一般不破壞爐子的真空為好。如果暫不能安裝，應(yīng)將爐體及成套設(shè)備保存在相應(yīng)濕度不大于 85％，溫度不低于＋5℃，沒有腐蝕性氣體和通風(fēng)良好的房間內(nèi)，封存有效期間為 6 個(gè)月，爐體內(nèi)部不得破壞真空。

當(dāng)爐體和成套設(shè)備檢修或停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，務(wù)必將所有管路（包括控制柜、電容器、變頻設(shè)備）內(nèi)的冷卻循環(huán)水全部放出，用 0.5MPa 壓縮空氣吹凈并做好封口。以免有雜物進(jìn)入水路，造成堵塞。

真空電爐安裝工作，必須在廠房建設(shè)工程完成后才能開始進(jìn)行。布置可參考安裝平面圖。由于真空冶煉對環(huán)境要求干凈一些,在選址時(shí)請注意。

6 試車與運(yùn)行

6.1 試車前的檢查

6.1.1 可控硅中頻電源檢查，詳見中頻電源說明書。

6.1.2 真空機(jī)組接通 2X－70 旋片真空泵的電源后，檢查泵的旋轉(zhuǎn)方向，是否符合泵罩上的箭頭指示方向，如旋轉(zhuǎn)方向相反時(shí)，可以調(diào)換三相電源相序。同樣方法檢查羅茨泵。

6.1.3 水冷系統(tǒng)：

打開主水閥和各個(gè)分水閥，水流顯示各支路水流是否暢通，冷卻水管道須按水冷系統(tǒng)圖連接。

6.2 運(yùn)行

6.2.1 操作前的檢查工作：

6.2.1.1 檢查熔室里邊的衛(wèi)生和潮濕情況，構(gòu)件有無破損，能否阻礙工作，如發(fā)現(xiàn)有問題時(shí)，處理解決；

6.2.1.2 檢查整個(gè)水冷系統(tǒng)，水壓應(yīng)符合 0.15－0.3MPa 的壓力規(guī)定，總流量不小于2.5立方米/時(shí)。特別注意感應(yīng)線圈的水流情況；

6.2.1.3 檢查配電部分是否完整良好，有無短路、斷路情況；

6.2.1.4 檢查感應(yīng)線圈匝間距離，有無短接，有無金屬雜物落入；

6.2.1.5 檢查電源電壓是否穩(wěn)定，如電網(wǎng)電壓變動(dòng)超過±1５％，即不應(yīng)開爐，以免損壞。

6.3 操作前的準(zhǔn)備工作：

6.3.1 準(zhǔn)備好坩堝，如采用打結(jié)坩堝請按打結(jié)坩堝工藝打結(jié)，并按燒結(jié)工藝燒結(jié)。

6.3.2 預(yù)熱錠模，將錠模在烘箱內(nèi)或箱式電爐內(nèi)加熱，去除潮氣；

6.3.3 準(zhǔn)備好熔煉用工具（使用金屬制成的工具時(shí)，必須提前干燥）。

6.4 操作順序：

6.4.1 裝料前，必須對整個(gè)爐內(nèi)進(jìn)行檢查，例如：線圈坩堝、錠模的干燥情況、清潔情況等，一切正常后即可裝料；

6.4.2 檢查真空容器封閉情況，在各部封閉良好后，合上容器蓋，檢查旋片泵油標(biāo)，看油量是否符合要求，打開 150 氣動(dòng)蝶閥，啟動(dòng)旋片真空泵進(jìn)行抽真空。

6.4.3 待抽至所需工作真空，可開始對感應(yīng)線圈進(jìn)行送電；

6.4.4 打開設(shè)備的各冷卻水閥門；

6.4.5 檢查電壓調(diào)壓器的指針，是否指零，按中頻電源說明書啟動(dòng)逆變系統(tǒng)；

6.4.6 按工藝調(diào)整到合適的工作功率上進(jìn)行冶煉（按工藝要求來調(diào)整功率）；

6.4.7 調(diào)整中頻電壓和電流時(shí)，注意中頻電壓與直流電壓的比是否正常；

6.4.8 在金屬接近熔化時(shí)，必須注意觀察爐內(nèi)情況，如果發(fā)現(xiàn)爐內(nèi)金屬液氣化較激烈時(shí)，應(yīng)降低功率，必須按真空度和爐溫情況來調(diào)節(jié)功率，避免激烈氣化與飛濺；

6.4.9 在熔化完畢進(jìn)行澆注時(shí)，須密切注視澆注情況；

6.4.10 澆注完畢取錠模時(shí)，必須戴好勞動(dòng)保護(hù)用具，特別是防護(hù)眼鏡。

6.5 操作中的注意事項(xiàng)：

6.5.1 操作者在操作之前，必須通過熔煉實(shí)習(xí)，了解各部分運(yùn)行原理，以免在操作時(shí)發(fā)生人身和設(shè)備損壞事故；

6.5.2 熔煉錠模及取錠工具都要進(jìn)行預(yù)熱干燥，否則在熔化時(shí)遇有潮濕，容易發(fā)生事故；

6.5.3 在非真空澆鑄時(shí)，操作者一定要帶好防護(hù)用具，特別是防護(hù)罩；

6.5.4 在熔煉時(shí)，坩堝的底部應(yīng)放托盤，防止坩堝破裂漏爐燒壞爐底；

6.5.5 對真空冶煉設(shè)備而言，冷卻水是重要的，當(dāng)感應(yīng)線圈冷卻溫度過高時(shí)，易使線圈變形甚至熔化，因此在發(fā)現(xiàn)停水時(shí)（爐溫在 1500－1600℃）首先應(yīng)停止向感應(yīng)線圈及泵送電，再把真空閥門關(guān)閉，打開備用水箱開關(guān)，以免損壞設(shè)備和影響正常工作。因此在熔煉過程中，應(yīng)當(dāng)經(jīng)常檢查，注意調(diào)節(jié)水量，各部冷卻水溫升不應(yīng)超過 20℃；

6.5.6 如果熔室處于真空狀態(tài)，應(yīng)先啟動(dòng)旋片式真空泵然后再打開真空閥，避免拉壞閥門。

7 真空冶煉中的問題：

在真空冶煉過程中，往往遇到一些具體問題，如精煉期過長，架橋，鑄錠有缺陷等?，F(xiàn)就一般較常碰到的一些問題介紹如下，供用戶參考。

7.1精煉期過長：一般使用的爐料不純潔，含氣量大。由于真空冶煉費(fèi)用較大。只有使用

純潔爐料才是經(jīng)濟(jì)合理的。

真空爐料含氣量分析表（參考值）

爐料名稱 種類 標(biāo)準(zhǔn)含氣量 ％

Ｏ２ Ｎ２ Ｈ２

純鐵 電解 0.074 0.002 0.0036

鉻 熔煉 0.04 0.07 0.0008

電解 0.45 0.037 0.010

鎳 電解 0.02 0.0012 0.005

鈷 電解 0.0075 0.0001

錳 電解 0.05 0.001 0.015

在上述爐料情況下，爐料熔化后不久，液面即告平靜，熔煉純鐵，鎳和電解銅，放氣沸騰時(shí)間一般只需幾分鐘，當(dāng)然含氧量較高的軸承鋼和合金，而又沒有足夠的炭進(jìn)行脫氧，也可能延長到一小時(shí)以上。液面不停地起泡期間，除氣速率高，一旦氣泡停止，真空度就會(huì)立即上升，如果精煉期過長，液體金屬與坩堝壁反應(yīng)，含氧量反而會(huì)回升，一般精煉期不超過 30 分鐘。

7.2 功率送不上，主要是裝料不實(shí)或裝料太少，再就是裝的都是碎料，如薄片和小條。裝料不實(shí)則接觸電阻大，裝料少則漏抗大，小碎料則電效率低，這些都是降低吸收功率的根源。薄片或小碎料應(yīng)與同類金屬或帶捆成一束，略小于坩堝底的直徑，和較大塊料一起放入，其吸收功率就能保證正常熔化速度。

7.3 加料后液面劇烈沸騰，這是在加料前沒有降低功率使液面輕微結(jié)膜，就直接在真空下加入大塊合金元素，造成大量放氣所致，遇到這種情況立即采取降低功率，或停電，或者充惰性氣體，使真空度降低，這樣就能防止液體金屬溢出坩堝而損傷爐室。

7.4 添加合金元素，先后次序不對或不適時(shí)，例如：在冶煉末期要澆鑄了才加鋁，沒有充分時(shí)間使氧化物上浮，活潑易揮發(fā)的元素，應(yīng)該最后加入而錯(cuò)誤地先加入了，前者使合金沾污，后者使合金成分控制不準(zhǔn)，當(dāng)熔煉高溫合金時(shí)，鉻、鋯等元素應(yīng)該在液面開始平靜后即先加入；回爐料則待合金精煉后再加入，活潑元素如鋁、鈦等后加入；蒸氣壓高、揮發(fā)性很大的元素，如錳最后加入。如有條件，加錳前通入惰性氣體，使真空度降到

3000Pa－5000Pa 左右，以減少其揮發(fā)，總要事先制定好真空冶煉工藝。

7.5 抽真空及送電制度不符合要求或配合不好，一般在熱爐下裝料后，應(yīng)先打開旋片式真空泵的鎮(zhèn)氣閥進(jìn)行排除水蒸氣，時(shí)間約 3－5 分鐘當(dāng)高真空抽到極限，然后送滿電壓，待爐料升溫，真空度就下降，直到熔化開始，如真空度降到 20Pa 左右時(shí)，關(guān)閉高真空閥，真空度繼續(xù)下降大部分熔化后，分次停電后補(bǔ)加基料，全部熔化完了，真空度開始回升到20Pa 左右后，再打開高真空閥，按照脫氧、沸騰、降電、結(jié)膜、加合金元素、測溫、停泵、停電、澆鑄的程序進(jìn)行。

如果剛開始抽低真空時(shí)不打開旋片真空泵的鎮(zhèn)氣閥，真空度下降后沒有及時(shí)關(guān)高真空閥，這樣，就會(huì)使真空泵油污染或有水蒸汽，使真空度上不去。不停電降溫就加料，會(huì)造成噴濺等等。

7.6 金屬過熱后，一方面產(chǎn)生大量的金屬蒸氣，降低放電電壓，助長了放電，一方面則使金屬結(jié)晶粗大，澆鑄時(shí)溫度過高，也影響鑄錠表面光潔度，因此測溫裝置是真空冶煉不可缺少的一部分。在測量 1600℃及以下的溫度時(shí)，一般使用氧化鋁、石英或金屬陶瓷保護(hù)管，當(dāng)測溫管距離液面幾十毫米時(shí)停留一會(huì)兒用液面溫度烤熱，到 500－600℃再下去測溫以免爆裂。測量頭不能長時(shí)間測量，所以浸入鋼液中的時(shí)間不宜過長。如選用遠(yuǎn)紅外輻射溫度計(jì)需保持測孔玻璃清潔，否則會(huì)影響測量精度。

7.7 真空鑄錠一般質(zhì)量都很好，但也會(huì)出現(xiàn)如下一些缺陷：

縮孔：這主要是使用沒有預(yù)熱的模具接觸面冷卻過快，模具放氣因此出現(xiàn)麻點(diǎn)，可以用氧化鋁（AL２O３）薄薄的涂在錠模內(nèi)壁，將錠模放在氧化性的火焰下薰烤上一層氧化鋁或氧化鋯薄膜。

粘模：大都是在澆鑄溫度過高，過快的情況下出現(xiàn)的。在錠模上口安裝澆口及保溫帽，在錠模底放一塊耐火材料墊塊或同類金屬墊片，都可以避免粘模。

8 日常維護(hù)及注意事項(xiàng)

8.1 在開始熔煉后，當(dāng)熔室壓強(qiáng)低于 20Pa 時(shí)方可給爐體，感應(yīng)線圈及油擴(kuò)散泵冷卻水，以免爐體及感應(yīng)線圈表面凝結(jié)水滴而使在抽氣時(shí)間影響真空度。當(dāng)熔煉完畢后，破壞熔室真空前，應(yīng)先停止?fàn)t體冷卻水，同時(shí)維持感應(yīng)線圈出口溫在 34－50℃范圍內(nèi)。

8.2 在熔煉每爐的間隔時(shí)間內(nèi)，應(yīng)在所有真空閥門關(guān)閉的情況下，微微打開旋片式真空泵的鎮(zhèn)氣閥，并使旋片式真空泵繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)約 5 分鐘，以排除在抽氣過程中凝結(jié)于油內(nèi)的水份，提高旋片式真空泵的抽氣速率及極限真空度。

8.3 旋片式真空泵的進(jìn)油閥的調(diào)整螺栓（打開泵蓋即可看到）應(yīng)調(diào)整，使旋片泵的循環(huán)油徐徐進(jìn)入泵的內(nèi)部。油量過大影響抽氣速率及極限真空度，油量過少恐怕因泵油潤滑不足造成磨損或拉傷。此項(xiàng)工作應(yīng)在空爐低真空抽氣時(shí)間調(diào)整好并固定。此外，循環(huán)油過濾網(wǎng)應(yīng)經(jīng)常定期清洗。

8.4 禁止在高真空抽氣時(shí)破壞爐體真空以免擴(kuò)散泵油被氧化而不能工作。當(dāng)擴(kuò)散泵停止工作時(shí)，冷卻水應(yīng)繼續(xù)流通，約 30 分鐘方可切斷泵的冷卻水。

8.5 在熔煉過程中旋片真空泵應(yīng)經(jīng)常運(yùn)轉(zhuǎn)，不能停止。

8.6 爐體轉(zhuǎn)動(dòng)密封部分應(yīng)妥為保護(hù)，經(jīng)常加入密封油脂，經(jīng)常保證良好的密封。密封油的飽和蒸氣壓在常溫時(shí)應(yīng)不大于 1.3×10-5Pa。

8.8 由于熔煉的進(jìn)行，在熔室的內(nèi)壁被凝結(jié)的水汽所潤濕，這潤濕了表面吸附氣體將影響真空度，增長抽真空時(shí)間，所以隨時(shí)擦干和清潔潤濕內(nèi)壁，對縮短抽氣時(shí)間是很重要的。

10 坩堝制備

10.1 坩堝材料一般按冶金工藝選擇；

10.2 坩堝尺寸見圖 1；

10.3 燒結(jié)坩堝石墨尺寸見圖 2；

10.4 鋼錠模尺寸見圖 3。 

11 成套設(shè)備

11.1 成套設(shè)備包括：

11.1.1 電爐本體及真空機(jī)組； 1 套

11.1.2 可控硅與變頻裝置； 1 臺(tái)

11.1.3 50kg 操作箱； 1 臺(tái)

11.1.4 液壓站； (電動(dòng)傾爐無液壓站) 1 臺(tái)

11.1.5 水冷系統(tǒng)（不包括管路）。 1 套